一種砷化鎵基LED的管芯結(jié)構(gòu)的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010958940.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114188445A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114188445A 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01L33/00（2010.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/027（2006.01）I;H01L33/36（2010.01）I;G03F7/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐曉強(qiáng);程昌輝;吳向龍;閆寶華;徐現(xiàn)剛 申請（專利權(quán)）人 山東浪潮華光光電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙龍群
地址 261061山東省濰坊市高新區(qū)金馬路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種砷化鎵基LED的管芯結(jié)構(gòu)的制作方法，包括：（1）在砷化鎵襯底上依次生長外延層、電流擴(kuò)展層；（2）N面金屬電極制作；（3）P面金屬膜層制作；（4）管芯切割；（5）P面金屬電極圖形制作：將粘性膜貼附在LED晶片正面，并將粘性膜撕掉，從而剝離掉P面電極表面的切割碎屑；再將粘性膜貼附在LED晶片正面，第二次將粘性膜撕掉，從而剝離掉LED晶片正面除P面金屬電極圖形區(qū)域外其它金屬，得到完整的P面金屬電極圖形；（6）去膠清洗。本發(fā)明提供制作方法簡單、易操作，整個管芯的制作效率提升10％以上，不使用切割保護(hù)液，同時降低了電極剝離過程中有機(jī)溶劑和去膠液的使用，節(jié)約材料成本30％以上。