一種砷化鎵基LED管芯的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010747671.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114068767A 公開(kāi)（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114068767A 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類(lèi)號(hào) H01L33/00（2010.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/304（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/36（2010.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐曉強(qiáng);程昌輝;吳向龍;閆寶華;王成新 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東浪潮華光光電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王素平
地址 261061山東省濰坊市市轄區(qū)高新區(qū)金馬路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種砷化鎵基LED管芯的制作方法。該方法包括采用電流擴(kuò)展層—P面電極—減薄—N面電極—切割的制作流程，其中在N面電極制作前將完成P面制作的晶片正面貼附上熱解膜，N面電極完成后將熱解膜去除，然后進(jìn)行快速切割。本發(fā)明既避免使用切割保護(hù)液，又在切割時(shí)不會(huì)對(duì)芯片電極產(chǎn)生破壞，降低整體作業(yè)成本。