一種多層平面電磁線圈驅(qū)動的MEMS變形鏡及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711115538.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107907991A 公開（公告）日 2018-04-13
申請公布號 CN107907991A 申請公布日 2018-04-13
分類號 G02B26/08 分類 光學;
發(fā)明人 謝海忠;孔慶峰;彭效冉 申請（專利權(quán)）人 明德之星（北京）科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華旭智信知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 明德之星（北京）科技有限公司
地址 100086 北京市海淀區(qū)中關(guān)村大街45號興發(fā)大廈45號1001-7
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多層平面電磁線圈驅(qū)動的MEMS變形鏡及制作方法，包括:硅襯底；在硅襯底上形成的多層線圈，每個線圈具有墊點和中心點；覆蓋所述多層線圈的介電層；及在所述硅襯底上封裝所述多層線圈的變形鏡面，其中所述變形鏡面包括：反射鏡層，在反射鏡層下表面上形成的介電層；在介電層的下表面的周邊區(qū)域中形成Si層；以及在介電層的下表面的中心區(qū)域中形成的永磁性材料層；其中所述多層線圈的各層之間通過墊點和中心點進行接觸，使得從硅襯底起由下而上依次排序，所述多層線圈的奇數(shù)層與偶數(shù)層之間通過中心點接觸，偶數(shù)層與奇數(shù)層之間通過墊點接觸；在第一層線圈的墊點上以及最后一層線圈的墊點或中心點上形成有與外部互聯(lián)的兩個焊點。