一種高純度三氯化銦的制備系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022732482.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213976993U 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN213976993U 申請公布日 2021-08-17
分類號 C01G15/00（2006.01）I;B01D7/00（2006.01）I;B01D7/02（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 徐成;劉華勝;郭高偉;周聲萬;戴曲柯 申請（專利權）人 清遠先導材料有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 顏希文;管瑩
地址 511517廣東省清遠市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高純度三氯化銦的制備系統(tǒng)，包括套管、升華容器、凝華容器、升華控溫結構和凝華控溫結構；所述升華容器和凝華容器設于所述套管中，所述升華容器和凝華容器呈開口相對的試管狀，且二者可拆卸式密閉連接；所述套管的兩端具有投料口和出料口，所述投料口和出料口上設有閥門；所述升華控溫結構設于所述升華容器所在處的套管外部，所述凝華控溫結構位于所述凝華容器所在處的套管外部；所述套管上還連接有真空泵的接口，以及惰性氣體或氮氣的接口。本實用新型中的高純度三氯化銦的制備系統(tǒng)，其可以獲得更高純度的無水三氯化銦，以便應用在IC行業(yè)中。