一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022156069.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213142143U 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN213142143U 申請公布日 2021-05-07
分類號 F27D9/00(2006.01)I;C22B7/00(2006.01)I;C22B58/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 崔恒;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢涵 申請（專利權）人 中山智隆新材料科技有限公司
代理機構 廣東科信啟帆知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 吳少東
地址 528400廣東省中山市板芙鎮(zhèn)居委會板芙北路17號四海酒店A棟三樓D301（住所申報）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結構，包括冷卻水管接口和回收靶體，所述冷卻水管接口安裝在回收靶體的外壁上，在進行工作時，將冷卻水管連接于冷卻水管接口，將排水管連接于出水管接口，然后，向冷卻水管中輸入冷水，由于冷卻水管接口和出水管接口之間通過上部冷卻槽和下部盤型槽相連通，這樣確保冷卻水能夠順利從冷卻水管接口處流向到出水管接口處，形成循環(huán)，對回收靶體的內(nèi)壁進行冷卻，使得升華后的金屬銦能夠冷凝附著在回收靶體中進行收集，在工作結束后，取出回收靶體，由于回收靶體內(nèi)部均勻涂有脫模劑層，方便對金屬銦進行脫出，本實用新型能夠快速且均勻的對回收靶體內(nèi)壁進行冷卻，具有很好的實用性能。??