一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022156075.2 申請日 -
公開(公告)號 CN213020919U 公開(公告)日 2021-04-20
申請公布號 CN213020919U 申請公布日 2021-04-20
分類號 F27B5/05(2006.01)I;F27B5/14(2006.01)I;C22B7/00(2006.01)I;F27D1/18(2006.01)I;C22B58/00(2006.01)I;F27D9/00(2006.01)I 分類 爐;窯;烘烤爐;蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 崔恒;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢涵 申請(專利權)人 中山智隆新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 廣東科信啟帆知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 代理人 吳少東
地址 528400廣東省中山市板芙鎮(zhèn)居委會板芙北路17號四海酒店A棟三樓D301(住所申報)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu),包括底座和連接筒,所述連接筒的上端安裝有底座,所述底座的上端設置有真空爐,所述真空爐的上端外壁上設置有冷卻水管道,所述冷卻水管道的下端外壁穿過真空爐并設置在真空爐的內(nèi)部,所述真空爐內(nèi)部的底座上端外壁上設置有真空倉門,所述真空倉門右側(cè)的真空爐內(nèi)部設置有加熱棒,所述底座的上端內(nèi)部設置有對位板,通過設計一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu),在提純銦完成后能夠?qū)⒄婵諅}門從真空爐內(nèi)部向上升起,能夠很方便地將真空倉門內(nèi)部的廢料完整地取出,且在不使用時能夠縮到真空爐的下端,不會在真空爐使用時存在在真空爐的內(nèi)部對提純造成影響。??