氣浮卡盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023200406.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214152867U 公開（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN214152867U 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾安 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京中安半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京布瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦衛(wèi)中
地址 210000江蘇省南京市自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)團(tuán)結(jié)路99號(hào)孵鷹大廈1836室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種氣浮卡盤。該氣浮卡盤包括噴嘴部和氣體通道部，其中，噴嘴部設(shè)置有多個(gè)支撐力噴嘴和多個(gè)導(dǎo)流孔，多個(gè)支撐力噴嘴用于在噴嘴部的頂部表面上形成氣墊，多個(gè)導(dǎo)流孔用于引導(dǎo)從多個(gè)支撐力噴嘴噴出的第一氣體遇到待測(cè)物后回流到噴嘴部；氣體通道部包括與多個(gè)支撐力噴嘴連接的第一氣體通道和與多個(gè)導(dǎo)流孔連接的第二氣體通道，第一氣體通道用于向多個(gè)支撐力噴嘴傳輸?shù)谝粴怏w以提供支撐力的第一氣體通道，第二氣體通道用于使回流到噴嘴部的第二氣體流出氣浮卡盤。本實(shí)用新型實(shí)施例能夠使氣墊所支撐如晶圓之類的支撐物不受回流的第二氣體的影響穩(wěn)定懸浮在氣墊遠(yuǎn)離噴嘴部的頂部表面的一側(cè)。