氣浮卡盤及晶圓幾何參數(shù)測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110396624.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113130368A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113130368A 申請公布日 2021-07-16
分類號 H01L21/683（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳建強;曾安;唐壽鴻 申請（專利權）人 南京中安半導體設備有限責任公司
代理機構 北京布瑞知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 秦衛(wèi)中
地址 210000江蘇省南京市自由貿(mào)易試驗區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)園團結路99號孵鷹大廈1836室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N氣浮卡盤及晶圓幾何參數(shù)測量裝置。該氣浮卡盤包括由多孔材料組成的第一多孔層；進氣層，與第一多孔層堆疊設置且與供應第一氣體的第一氣體供應部件連接，用于向第一多孔層傳輸?shù)谝粴怏w以利用第一氣體提供的支撐力使晶圓懸浮。本申請實施例能夠利用氣浮卡盤提供均勻的氣浮條件，避免由于氣流的不穩(wěn)定或卡盤結構設計缺陷等原因造成晶圓很難穩(wěn)定地懸浮在卡盤上方。