懸浮物的測量裝置和氣浮卡盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110396643.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113108715A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113108715A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01B11/24（2006.01）I;G01B11/30（2006.01）I;G01B9/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 唐壽鴻;曾安;陳建強 申請（專利權(quán)）人 南京中安半導體設備有限責任公司
代理機構(gòu) 北京布瑞知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦衛(wèi)中
地址 210000江蘇省南京市自由貿(mào)易試驗區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)園團結(jié)路99號孵鷹大廈1836室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例提供了一種懸浮物的測量裝置和氣浮卡盤。該氣浮卡盤包括懸浮部件，用于在懸浮部件的上表面形成氣墊以使懸浮物懸浮，其中，氣墊的上表面相對于水平面傾斜成預設角度以使懸浮物傾斜預設角度；至少一個阻擋部件，位于懸浮部件的側(cè)邊，用于阻擋懸浮物沿氣墊的上表面的傾斜方向移動。本申請實施例能夠使得懸浮物的位置固定，且能夠避免懸浮物產(chǎn)生較大的應力而變形。