氣浮卡盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023200409.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214279938U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214279938U 申請公布日 2021-09-24
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾安 申請（專利權(quán)）人 南京中安半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京布瑞知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦衛(wèi)中
地址 210000江蘇省南京市自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)團(tuán)結(jié)路99號孵鷹大廈1836室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種氣浮卡盤。該氣浮卡盤包括噴嘴部和氣體通道部，其中，噴嘴部設(shè)置有多個支撐力噴嘴，用于在噴嘴部的頂部表面上形成氣墊；氣體通道部包括向多個支撐力噴嘴傳輸?shù)谝粴怏w以提供支撐力的第一氣體通道。本實(shí)用新型實(shí)施例能夠?qū)崿F(xiàn)由第一氣體通道向多個支撐力噴嘴傳輸?shù)谝粴怏w，由第一氣體提供支撐力，通過調(diào)節(jié)第一氣體通道中第一氣體的氣流以在噴嘴部的頂部表面上形成氣墊，以便于使氣墊所支撐如晶圓之類的支撐物穩(wěn)定懸浮在氣墊遠(yuǎn)離噴嘴部的頂部表面的一側(cè)。