一種晶粒挑選方法、裝置、電子設(shè)備和存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111654015.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114496844A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114496844A 申請公布日 2022-05-13
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;G06T1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊美高;楊少剛;范浩 申請（專利權(quán)）人 深圳市八零聯(lián)合裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道樓崗社區(qū)大洋工業(yè)區(qū)南1號廠房104
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶粒挑選方法、裝置、電子設(shè)備和存儲介質(zhì)。該方法包括：確定晶粒圖像包括的至少兩個圖像分區(qū)，并依據(jù)所述至少兩個圖像分區(qū)內(nèi)待選晶粒生成定位標記；根據(jù)各所述定位標記刷新對應(yīng)所述圖像分區(qū)內(nèi)所述待選晶粒的晶粒位置；根據(jù)預(yù)設(shè)挑選順序和所述晶粒位置在所述至少兩個圖像分區(qū)內(nèi)挑選晶粒。本發(fā)明實施例，通過根據(jù)各定位標記刷新對應(yīng)圖像分區(qū)內(nèi)待選晶粒的晶粒位置，根據(jù)預(yù)設(shè)挑選順序和晶粒位置在至少兩個圖像分區(qū)內(nèi)挑選晶粒，實現(xiàn)了晶粒的快速挑選，在一定程度上降低了藍膜形變對晶粒挑選的影響，從而提高晶粒挑選的準確性。