一種IC裝備異形結(jié)構(gòu)件的加工工藝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202111543026.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN114700684A | 公開(公告)日 | 2022-07-05 |
申請公布號 | CN114700684A | 申請公布日 | 2022-07-05 |
分類號 | B23P15/00(2006.01)I;B23C3/00(2006.01)I | 分類 | 機(jī)床;不包含在其他類目中的金屬加工; |
發(fā)明人 | 李奪 | 申請(專利權(quán))人 | 沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 110000遼寧省沈陽市東陵區(qū)飛云路18甲-1號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明工藝為一種半導(dǎo)體裝備結(jié)構(gòu)件的加工工藝。該結(jié)構(gòu)件為半導(dǎo)體裝備零部件的一種支撐結(jié)構(gòu)件,其結(jié)構(gòu)較為特殊,為異型件。材料為AL6061,主體中間為通圓,周圍有側(cè)窗、下陷槽等工位,上下面有密封槽,其中一側(cè)外形上方有開口。本發(fā)明加工此結(jié)構(gòu)件時需要分粗加工和精加工組合方式。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)件平面度及平行度精度高;結(jié)構(gòu)件幾乎無變形,可以滿足設(shè)計要求。 |
