一種IC裝備異形結(jié)構(gòu)件的加工工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111543026.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114700684A 公開(kāi)（公告）日 2022-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN114700684A 申請(qǐng)公布日 2022-07-05
分類號(hào) B23P15/00（2006.01）I;B23C3/00（2006.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 李?yuàn)Z 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 110000遼寧省沈陽(yáng)市東陵區(qū)飛云路18甲-1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明工藝為一種半導(dǎo)體裝備結(jié)構(gòu)件的加工工藝。該結(jié)構(gòu)件為半導(dǎo)體裝備零部件的一種支撐結(jié)構(gòu)件，其結(jié)構(gòu)較為特殊，為異型件。材料為AL6061，主體中間為通圓，周?chē)袀?cè)窗、下陷槽等工位，上下面有密封槽，其中一側(cè)外形上方有開(kāi)口。本發(fā)明加工此結(jié)構(gòu)件時(shí)需要分粗加工和精加工組合方式。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)件平面度及平行度精度高；結(jié)構(gòu)件幾乎無(wú)變形，可以滿足設(shè)計(jì)要求。