原子力顯微鏡探針、原子力顯微鏡及探針的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810233689.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108845161B 公開（公告）日 2020-05-12
申請公布號 CN108845161B 申請公布日 2020-05-12
分類號 G01Q60/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋一鳴;馬明;鄭泉水 申請（專利權(quán)）人 深圳清力技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳超
地址 518118 廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)蘭景中路16號國富文化創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)廠區(qū)廠房A601
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種原子力顯微鏡探針、原子力顯微鏡及探針的制備方法。原子力顯微鏡探針包括探針本體和設(shè)置在探針本體的針尖一側(cè)的接觸體，接觸體具有連接段和接觸段，接觸段具有接觸端面；接觸段為二維材料，且接觸端面為原子級光滑且平整的單晶界面。本發(fā)明的原子力顯微鏡探針可精確地檢測受測樣品的各種性質(zhì)。