基于極坐標(biāo)采樣的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)快速分解方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710820290.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107644131A 公開(kāi)（公告）日 2018-01-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN107644131A 申請(qǐng)公布日 2018-01-30
分類號(hào) G06F17/50 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 貢頂;沈忱;崔紹春;陳雪蓮;鄢麗萍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州珂晶達(dá)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道1355號(hào)國(guó)際科技園內(nèi)B501單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于極坐標(biāo)采樣的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)快速分解方法，其包括以下步驟：1)獲取成像系統(tǒng)的光學(xué)參數(shù)；2)采用極坐標(biāo)采樣方法獲得空間域上采樣點(diǎn)的坐標(biāo)(ri,θj)；3)通過(guò)非均勻傅里葉逆變換計(jì)算采樣點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光源互強(qiáng)度函數(shù)及光瞳函數(shù)4)計(jì)算采樣點(diǎn)對(duì)應(yīng)空間域的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)值并建立采樣矩陣5)在空間域上建立一組正交基函數(shù)計(jì)算正交基函數(shù)在相應(yīng)極坐標(biāo)采樣位置上的函數(shù)值并建立矩陣Q＝[q1,q2,…qk]；6)對(duì)矩陣Q進(jìn)行QR矩陣分解7)計(jì)算投影矩陣并對(duì)投影矩陣P進(jìn)行奇異值分解得到P＝UU*；8)獲得空間域上交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的核函數(shù)為本發(fā)明能夠快速解析獲得TCC核函數(shù)，使得光強(qiáng)分布計(jì)算快速而高效，從而滿足實(shí)際的光刻工藝設(shè)計(jì)需求。