基于光源互強(qiáng)度函數(shù)分解的光學(xué)成像快速計(jì)算方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710820261.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN107479335A 公開(kāi)(公告)日 2017-12-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN107479335A 申請(qǐng)公布日 2017-12-15
分類(lèi)號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 貢頂;沈忱;崔紹春;毛智彪 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 蘇州珂晶達(dá)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 湯東鳳
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道1355號(hào)國(guó)際科技園內(nèi)B501單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于光源互強(qiáng)度函數(shù)分解的光學(xué)成像快速計(jì)算方法,其包括以下步驟:1)獲取成像系統(tǒng)的光源函數(shù)及光瞳函數(shù)將光源函數(shù)投影到頻域上的一組正交基函數(shù)上;3)求解空間域上光源互強(qiáng)度函數(shù)對(duì)應(yīng)基函數(shù)的投影系數(shù)αpq,st;4)由投影系數(shù)apq,st建立對(duì)稱正定的投影矩陣A=[αpq,st],并進(jìn)行特征向量分解A=UU*;5)對(duì)光源互強(qiáng)度函數(shù)進(jìn)行分離變量,并建立空間域上的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的核函數(shù)6)計(jì)算核函數(shù)與掩膜板圖形的卷積,獲得像平面上的曝光圖案本發(fā)明利用一組空間域和頻域上的傅立葉函數(shù)變換對(duì),并根據(jù)卷積定義來(lái)計(jì)算復(fù)雜的積分變換,從而快速的獲得相應(yīng)的核函數(shù),使得光強(qiáng)分布計(jì)算快速而高效,從而滿足實(shí)際的光刻工藝設(shè)計(jì)需求。