一種基于指示函數(shù)的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)快速分解方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710820278.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107621757A 公開（公告）日 2018-01-23
申請公布號 CN107621757A 申請公布日 2018-01-23
分類號 G03F7/20;G06F17/14 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 貢頂;沈忱;崔紹春;陳雪蓮;鄢麗萍 申請（專利權(quán)）人 蘇州珂晶達電子有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道1355號國際科技園內(nèi)B501單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于指示函數(shù)的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)快速分解方法，其包括：1)獲取成像系統(tǒng)的光源函數(shù)J(f,g)；2)將描述光源的區(qū)域Ω進行劃分得到一組正交子區(qū)域Ωij，并用正交子區(qū)域上的指示函數(shù)Iij(f,g)描述所述光源函數(shù)J(f,g)；3)計算所述指示函數(shù)Iij(f,g)的傅里葉逆變換，獲得空間上域的基函數(shù)Lij(x,y)，并將空間域上的光源互強度函數(shù)投影到一組基函數(shù)上，獲得對光源互強度函數(shù)的分解；4)建立空間域上的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的核函數(shù)c；5)計算核函數(shù)與掩膜板圖形的卷積，獲得像平面上的曝光圖案本發(fā)明利用正交區(qū)域上的指示函數(shù)Iij(f,g)表述光源函數(shù)，利用指示函數(shù)的正交關(guān)系，及光源的投影系數(shù)直接獲得光源互強度函數(shù)的分解，容易獲得交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的核函數(shù)使得光強分布計算快速而高效。