一種干刻下部電極加工用治具板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122087494.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215600338U 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN215600338U 申請公布日 2022-01-21
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張立祥;洪遠(yuǎn)周 申請（專利權(quán)）人 蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司
代理機構(gòu) 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王春麗
地址 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)迎賓西路988號6幢101-102-201-202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種干刻下部電極加工用治具板，包括用于放置電極的治具板；所述治具板表面包覆有一層塑料薄膜，所述治具板上等距開設(shè)有若干固定電極的定位孔，所述治具板寬度方向的兩側(cè)邊設(shè)置有若干用于行車吊裝的掛鉤，所述治具板四周側(cè)邊還設(shè)置有若干便于卡尺測量電極高度的高度測量凹槽。本實用新型保護(hù)電極在機加工過程中不受變形和損傷，保證在機加工后電極表面的平整度，避免電極在后續(xù)使用過程中出現(xiàn)氦氣泄漏的問題。