一種陶瓷材料及其耐等離子涂層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110876412.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113501727A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN113501727A 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) C04B41/87（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 張立祥;趙凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王春麗
地址 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)迎賓西路988號(hào)6幢101-102-201-202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種陶瓷材料及其耐等離子涂層的制備方法，所述陶瓷材料由以下元素的氧化物粉末混合而成，所述元素包括Y、W、Mg、Si、Al和Zr，所述元素按原子數(shù)量計(jì)含量為：50～70％的Y、5～15％的W、5～10％的Mg、5～10％的Si、5～10％的Al和5～15％的Zr，所述元素的氧化物粉末的直徑為10～100μm。使用所述陶瓷材料制備的耐等離子涂層，有更好的延展性、致密性，且有更強(qiáng)的耐等離子侵蝕的性能，從而可以顯著延長(zhǎng)設(shè)備部件在芯片和面板加工過(guò)程中的使用壽命，有效降低芯片和面板工廠在采購(gòu)設(shè)備配件上的成本。