一種具有致密浮點表面結(jié)構(gòu)的下部電極及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111220383.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113917720A 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN113917720A 申請公布日 2022-01-11
分類號 G02F1/13（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;H01L51/52（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張立祥;趙凱 申請（專利權(quán)）人 蘇州眾芯聯(lián)電子材料有限公司
代理機構(gòu) 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王春麗
地址 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)迎賓西路988號6幢101-102-201-202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有致密浮點表面結(jié)構(gòu)的下部電極及其制作方法，包括下部電極，下部電極的電極表面四周設(shè)置周邊凸起，在周邊凸起范圍內(nèi)還設(shè)置有呈陣列分布的浮點，浮點之間的間距為0.25?2mm。通過在下部電極表面設(shè)置致密的浮點結(jié)構(gòu)，可以改善冷卻氣體流通的均勻性，從而改善其對玻璃基板的冷卻效果的均勻，減少在玻璃基板上形成印痕的情況。同時通過使用這種制作方法，能在下部電極上設(shè)置間距更小的浮點陣列，保證冷卻氣體的流通性，繼而提高對玻璃基板的冷卻效果。