固晶設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120327584.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214254356U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號(hào) CN214254356U 申請公布日 2021-09-21
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃崗 申請（專利權(quán)）人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐漢華
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道和平路銳明工業(yè)園C8棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N固晶設(shè)備，包括機(jī)架、支架上料機(jī)構(gòu)、支架移載機(jī)構(gòu)、晶環(huán)上料機(jī)構(gòu)、晶環(huán)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、頂晶機(jī)構(gòu)、晶環(huán)移載機(jī)構(gòu)和固晶擺臂機(jī)構(gòu)。通過多個(gè)固晶集成單元，于各固晶集成單元中，支架移載機(jī)構(gòu)的兩側(cè)分別設(shè)置有兩個(gè)晶環(huán)供料單元。固晶時(shí)，支架上料機(jī)構(gòu)將支架移送至第一個(gè)支架移載機(jī)構(gòu)，第一個(gè)支架移載機(jī)構(gòu)兩側(cè)的晶環(huán)供料單元可分別對支架的兩個(gè)位置進(jìn)行固晶；隨后，第一個(gè)支架移載機(jī)構(gòu)將該支架移送至下一個(gè)固晶集成單元的支架移載機(jī)構(gòu)上，位于第二個(gè)支架移載機(jī)構(gòu)兩側(cè)的晶環(huán)供料單元可分別對支架的另外兩個(gè)位置進(jìn)行固晶，支架每經(jīng)過一個(gè)固晶集成單元時(shí)，都有兩個(gè)位置被固晶；支架由多個(gè)固晶集成單元進(jìn)行固晶，固晶效率得到極大提升。