晶元搜索方法、裝置、電子設備及計算機可讀存儲介質

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110700883.7 申請日 -
公開(公告)號 CN113426714A 公開(公告)日 2021-09-24
申請公布號 CN113426714A 申請公布日 2021-09-24
分類號 B07C5/36(2006.01)I;B07C5/342(2006.01)I;G06T7/00(2017.01)I;G06T7/70(2017.01)I 分類 將固體從固體中分離;分選;
發(fā)明人 周贊 申請(專利權)人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理機構 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 代理人 梁立耀
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道和平路銳明工業(yè)園C8棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N晶元搜索方法、裝置、電子設備及計算機可讀存儲介質,用于提高晶元搜索效率。該方法包括:獲取晶圓的晶圓圖及基準點的第一位置信息,晶圓圖包含每個晶元的索引參數及位置參數,第一位置信息為基準點在擴充藍膜前的位置信息;根據基準點的第一位置信息、索引參數和位置參數,生成晶元分布地圖,晶元分布地圖包括每個晶元相對于基準點的位置分布信息;根據第一位置信息和第二位置信息,確定擴充藍膜前后的第一基準點距離變化量,第二位置信息為基準點在擴充藍膜后的位置信息;根據第一基準點距離變化量對晶元分布地圖進行修正,得到修正后的晶元分布地圖;根據修正后晶元分布地圖和執(zhí)行設備的當前位置,確定最優(yōu)路徑和待吸取晶元。