一種空間光波導(dǎo)制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910629078.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN110320599B 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號(hào) CN110320599B 申請公布日 2021-08-24
分類號(hào) G02B6/13;G02B6/12 分類 光學(xué);
發(fā)明人 史強(qiáng);唐強(qiáng);李坤;周立海 申請（專利權(quán)）人 北京魔技納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁曼曼
地址 264000 山東省煙臺(tái)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)榮昌路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種空間光波導(dǎo)制備方法，該方法包括：在待連接的通光口載體之間覆涂光刻膠，識(shí)別并設(shè)計(jì)連接路徑，利用多次螺旋照射光刻膠制備的支撐結(jié)構(gòu)和固化的支撐結(jié)構(gòu)包裹的光刻膠組成的空間光波導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)空間光波導(dǎo)的制備。本申請的空間光波導(dǎo)制備方法通過光刻膠對照射光能量的非線性吸收效果，促使光刻膠發(fā)生聚合、交聯(lián)反應(yīng)而固化，可突破衍射極限，實(shí)現(xiàn)加工的分辨率小于100納米的任意三維形態(tài)的空間光波導(dǎo)的加工，因此可以實(shí)現(xiàn)空間光波導(dǎo)的三維形態(tài)與待連接的通光口尺寸匹配，降低了光波導(dǎo)耦合過程中的損耗，而螺旋加工的支撐結(jié)構(gòu)提升了空間光波導(dǎo)的強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量的大間距器件互連。