一種晶圓檢測用探針卡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021386917.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213750021U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213750021U 申請公布日 2021-07-20
分類號 G01R1/067（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 方瓊慧;王政雄 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)立（徐州）半導體有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 范圓圓
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)清潔技術(shù)產(chǎn)業(yè)園服務中心213室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓檢測用探針卡，包含有承載整體結(jié)構(gòu)的加固物、設置在加固物上的采用環(huán)氧樹脂制成的固定塊、設置在所述固定塊上的探針和套設在探針上的絕緣針套。通過在針體上套設一絕緣針套，實現(xiàn)對檢測過程中的探針記性緩沖，減少針體受到的磨損，達到延長針體的使用壽命和保證檢測質(zhì)量的目的。