一種晶圓凸塊推拉力測(cè)試機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020174267.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212340852U 公開(公告)日 2021-01-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN212340852U 申請(qǐng)公布日 2021-01-12
分類號(hào) G01N3/10(2006.01)I;G01N3/12(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 戴傳勇 申請(qǐng)(專利權(quán))人 聯(lián)立(徐州)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 聯(lián)立(徐州)半導(dǎo)體有限公司
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)清潔技術(shù)產(chǎn)業(yè)園服務(wù)中心213室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓凸塊推拉力測(cè)試機(jī),屬于晶圓推拉力測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,包括頂架、下夾具組件、升降鎖緊組件和底座,所述頂架的下端設(shè)置有升降鎖緊組件,所述升降鎖緊組件的一側(cè)連接有橫板,所述橫板的上端固定有下夾具組件,本實(shí)用新型通過在內(nèi)管兩兩之間連接一側(cè)鑿有凹槽的連接板,外管外側(cè)連接的握把一側(cè)嵌接有插桿,插桿一端固定的插塊嵌入凹槽內(nèi),這種結(jié)構(gòu)配合伸縮彈簧初始情況插塊剛好卡入凹槽內(nèi)的情況能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)升降停止后的縮緊,支撐座的側(cè)壁貫穿上端鑿有定位槽的活動(dòng)桿,上端與把手轉(zhuǎn)動(dòng)連接的調(diào)節(jié)螺桿嵌入定位槽內(nèi),這種結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)壓板間距的調(diào)整,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)對(duì)不同尺寸晶圓凸塊的固定。??