機械手用末端執(zhí)行機構(gòu)、機械手與晶圓搬運裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110419511.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113119144A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113119144A 申請公布日 2021-07-16
分類號 B25J15/00（2006.01）I;B25J15/08（2006.01）I;B25J11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 葉曉通;黃晶;黃國輝 申請（專利權(quán)）人 深圳眾為興技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 謝岳鵬
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)藝園路馬家龍?zhí)飶B產(chǎn)業(yè)園（原27棟-29棟）5-001室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種機械手用末端執(zhí)行機構(gòu)、機械手與晶圓搬運設(shè)備，其中，末端執(zhí)行機構(gòu)包括支座、手指組件、第一絲桿以及驅(qū)動組件，手指組件包括并列設(shè)置的第一手指和第二手指，第一手指與第二手指均滑動連接于支座，第一手指與第二手指均用于晶圓的承載；第一絲桿轉(zhuǎn)動連接支座，第一絲桿包括第一段和第二段，第一段與第二段均設(shè)置有螺紋，兩個螺紋的螺旋方向相反，其中，第一手指螺紋連接于第一段，第二手指螺紋連接于第二段；驅(qū)動組件與第一絲桿相連接，用于驅(qū)動第一絲桿轉(zhuǎn)動。通過采用上述方案，即保證了晶圓的輸送效率，又保證了末端執(zhí)行機構(gòu)適用不同層間距的放置盒。