2CL91型部件的ME處理工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811249196.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109454051B 公開(kāi)（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN109454051B 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類號(hào) B08B3/04（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 嚴(yán)建萍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南通皋鑫電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯信合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫騰
地址 226500江蘇省南通市如皋市如城中山西路82號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種2CL91型部件的ME處理工藝；其采用ME處理裝置對(duì)2CL91型部件進(jìn)行ME處理，所述的ME處理裝置包括分體設(shè)置的干燥裝置、若干純水槽、超聲波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽、ME模具；所述的ME處理裝置還包括分體設(shè)置的ME模具托架，所述的ME模具固定在ME模具托架上；所述ME處理工藝包括如下步驟：（1）操作準(zhǔn)備；（2）ME處理；（3）烘干。設(shè)計(jì)合理，構(gòu)思巧妙，改進(jìn)了ME模具托架，解決了傳統(tǒng)模具托架固定時(shí)不可以根據(jù)模具調(diào)整、靈活性較差的問(wèn)題，且2CL91型部件經(jīng)ME處理后、管芯折斷減少，提高了合格率。