工作效果好的基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810742843.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108759690B 公開（公告）日 2020-01-24
申請公布號 CN108759690B 申請公布日 2020-01-24
分類號 G01B11/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐一鳴;陸觀;邱自學(xué);馬鑫勇;鄧勇;袁江;邵建新;蔡婷 申請（專利權(quán)）人 上海海洋地質(zhì)勘察設(shè)計有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南通市永通專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南通大學(xué);上海海洋地質(zhì)勘察設(shè)計有限公司
地址 226019 江蘇省南通市嗇園路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種工作效果好的基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀，所述涂層測厚儀包括暗盒、紅外激光光源、凸透鏡、2.32μm濾光片、2.23μm濾光片、平面反射鏡、第一次檢測器、分光棱鏡、凹面鏡、第二主檢測器、第二次檢測器、導(dǎo)光管、第一主檢測器；測厚時光線經(jīng)濾光片、分光棱鏡傳送至次檢測器，或經(jīng)濾光片、分光棱鏡、待測圖層、凹面鏡/凸透鏡后傳送至主檢測器，經(jīng)主/次檢測器數(shù)據(jù)處理后可求得涂層厚度。使用雙光路結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)該系統(tǒng)對涂層厚度的實時測量。本發(fā)明可以獲取參考物各局部標(biāo)準(zhǔn)厚度，從而能夠更加精確地測量涂層厚度。