氣壓傳感器及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110989154.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113701937A 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN113701937A 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) G01L9/12（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 田野;程傳同 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州微光電子融合技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州三英知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱如松
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了氣壓傳感器及制備方法，其中氣壓傳感器包括高阻襯底；形成于高阻襯底上的源極電極、漏極電極和柵極電極，源極電極以及漏極電極限定于高阻襯底同一側(cè)，柵極電極限定于高阻襯底上與源極電極同一側(cè)或柵極電極限定于高阻襯底上相對(duì)于源極電極的另一側(cè)；設(shè)置到源極電極和漏極電極的石墨烯薄層結(jié)構(gòu)；高阻襯底與石墨烯薄層結(jié)構(gòu)之間形成有腔室。本發(fā)明的氣壓傳感器充分利用石墨烯諧振器的優(yōu)良特性，實(shí)現(xiàn)氣壓的高精度測(cè)量。