一種石墨烯輔助氧化釩熱光調(diào)制器及其制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110286262.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113064289A 公開（公告）日 2021-07-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113064289A 申請(qǐng)公布日 2021-07-02
分類號(hào) G02F1/01;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 分類 光學(xué);
發(fā)明人 黃北舉;程傳同;陳弘達(dá) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州微光電子融合技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州三英知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃曉明
地址 215200 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種石墨烯輔助氧化釩熱光調(diào)制器及其制備工藝，包括襯底，在襯底表面形成的第一絕緣層，在第一絕緣層上布置的石墨烯層，在石墨烯層上方形成的第二絕緣層，所述石墨烯輔助氧化釩熱光調(diào)制器還包括通過光刻或者沉積于石墨烯層上的金屬電極以及通過磁控濺射、反應(yīng)離子濺射或者沉積金屬再氧化的方式設(shè)置于第二絕緣層上面的氧化釩薄膜層。本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)在于充分利用石墨烯和氧化釩的優(yōu)良特性，實(shí)現(xiàn)小尺寸、低插損、高消光比、工作波長(zhǎng)范圍寬的特點(diǎn)。