一種基于二維光柵耦合的偏振無(wú)關(guān)型電光調(diào)制器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110296411.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112946930A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112946930A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類(lèi)號(hào) G02F1/01;G02F1/025;G02B6/12 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 黃北舉;張贊允 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州微光電子融合技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州三英知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃曉明
地址 215200 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基于二維光柵耦合的偏振無(wú)關(guān)型電光調(diào)制器，自下而上依次包括襯底、下包層、硅器件層、上包層，以及在硅器件層上刻蝕形成的八個(gè)模斑轉(zhuǎn)換器和四個(gè)硅基光波導(dǎo)、兩個(gè)四通道輸入\輸出二維光柵耦合器、兩個(gè)硅基PN結(jié)光波導(dǎo)相移器以及一個(gè)GSG單驅(qū)動(dòng)共面波導(dǎo)行波電極，所述硅基PN結(jié)光波導(dǎo)相移器為以硅材料形成的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，至少兩個(gè)硅基光波導(dǎo)中的中間一段由波導(dǎo)結(jié)構(gòu)替代而成，所述GSG單驅(qū)動(dòng)共面波導(dǎo)行波電極設(shè)置于硅基PN結(jié)光波導(dǎo)相移器上方并其平板區(qū)接觸。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)四通道的光分束和光合束，并可以實(shí)現(xiàn)光相位調(diào)制到光強(qiáng)度調(diào)制的轉(zhuǎn)換，此外光纖與光柵耦合器是垂直耦合，具有耦合效率高、偏振相關(guān)損耗較低、對(duì)準(zhǔn)容差能力強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。