基于電光調(diào)制器及驅(qū)動電路的三維集成器件及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111070544.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113777809A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113777809A 申請公布日 2021-12-10
分類號 G02F1/035（2006.01）I;G02B6/42（2006.01）I;H01L23/48（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 黃北舉;張贊允;陳弘達 申請（專利權）人 蘇州微光電子融合技術研究院有限公司
代理機構 蘇州三英知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 周仁青
地址 215212江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種基于電光調(diào)制器及驅(qū)動電路的三維集成器件及方法，所述器件包括驅(qū)動電路結構、及集成于驅(qū)動電路結構上的電光調(diào)制器，所述電光調(diào)制器包括層疊設置于驅(qū)動電路結構上的隔離層、倒脊型波導結構、包層、及行波電極，所述倒脊型波導結構包括氮化硅層及位于氮化硅層上方的鈮酸鋰單晶薄膜，氮化硅層中形成有若干刻蝕區(qū)域，所述行波電極與驅(qū)動電路結構電氣連接。本發(fā)明中驅(qū)動電路與電光調(diào)制器通過垂直三維集成和通孔的方式進行電氣連接，可將驅(qū)動電路中的高頻電信號傳輸?shù)诫姽庹{(diào)制器的行波電極中，通過電光效應將高頻信號加載到氮化硅/鈮酸鋰光波導的光波中，從而實現(xiàn)電信號到光信號的轉(zhuǎn)換。