一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器及控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110356196.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113190050A 公開（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113190050A 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) G05D7/06;B81B7/02 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 胡國慶;田偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島芯笙微納電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉娜
地址 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國際創(chuàng)新園B座402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器及控制方法，包括殼體以及位于殼體內(nèi)部的質(zhì)量流量傳感器和壓電膜片，所述殼體包括下基板、上蓋板以及由二者圍成的氣流通道；所述質(zhì)量流量傳感器設(shè)置在下基板上靠近氣流通道的入口一側(cè)；所述壓電膜片設(shè)置在下基板上靠近氣流通道的出口一側(cè)；所述壓電膜片兩端設(shè)置于下基板上，所述壓電膜片中部與下基板之間設(shè)有振動(dòng)空隙。本發(fā)明利用質(zhì)量流量傳感器對(duì)氣體流量進(jìn)行精確測(cè)量并實(shí)時(shí)反饋，作為壓電膜片驅(qū)動(dòng)電壓的調(diào)節(jié)依據(jù)，進(jìn)而可利用壓電膜片的形變實(shí)現(xiàn)對(duì)微小流量的高精度控制；此外，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、成本低、制備可控性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。