一種基于MEMS質(zhì)量流量傳感器的氫氣檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120518959.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214251127U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN214251127U 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G01F1/86（2006.01）I;G01M3/26（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島芯笙微納電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉娜
地址 266100山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國(guó)際創(chuàng)新園B座402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于MEMS質(zhì)量流量傳感器的氫氣檢測(cè)裝置，包括第一氣體管路、第二氣體管路以及分別設(shè)置在第一氣體管路、第二氣體管路側(cè)壁上的第一MEMS質(zhì)量流量傳感器和第二MEMS質(zhì)量流量傳感器，所述第一氣體管路和第二氣體管路內(nèi)徑相同，均具有進(jìn)氣端和出氣端，所述出氣端均連接微型氣泵的進(jìn)氣口；所述第一MEMS質(zhì)量流量傳感器和第二MEMS質(zhì)量流量傳感器的輸出端連接處理器，所述第一氣體管路設(shè)置在待測(cè)環(huán)境的高處，所述第二氣體管路設(shè)置在待測(cè)環(huán)境的低處。本實(shí)用新型所公開(kāi)的氫氣檢測(cè)裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)，且可最大程度上消除環(huán)境因素的影響，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。