一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110316886.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113049634A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113049634A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-29 |
| 分類號(hào) | G01N25/22;G01N25/48;G01J5/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 胡國(guó)慶;田偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 青島芯笙微納電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉娜 |
| 地址 | 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國(guó)際創(chuàng)新園B座402室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撐體構(gòu)成的腔體，所述腔體內(nèi)位于第一PCB上設(shè)置紅外探測(cè)器，所述腔體內(nèi)位于第二PCB上設(shè)置微加熱器，所述紅外探測(cè)器與微加熱器相對(duì)設(shè)置，且分別電連接到第一PCB和第二PCB上；所述微加熱器上方設(shè)置氣體敏感膜；所述支撐體上開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口；所述紅外探測(cè)器和微加熱器均采用MEMS工藝制作而成。本發(fā)明所公開(kāi)的微型氣體傳感器具有體積小、成本低、制備簡(jiǎn)單、容易批量生產(chǎn)等優(yōu)勢(shì)，在氣體敏感膜吸附氣體分子并發(fā)生反應(yīng)后，可通過(guò)紅外探測(cè)器檢測(cè)氣體敏感膜表面的溫度變化，實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)速度。 |
