一種高靈敏度的MEMS流量傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110266953.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113029264A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113029264A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類號(hào) | G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 青島芯笙微納電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉娜 |
| 地址 | 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國(guó)際創(chuàng)新園B座402室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種高靈敏度的MEMS流量傳感器及其制作方法，該流量傳感器包括：襯底，設(shè)有隔熱腔體，由襯底的上表面或下表面向內(nèi)凹入形成；第一、第二介質(zhì)層，依次形成于襯底的上表面，且第一、第二介質(zhì)層在隔熱腔體上方向上彎曲；加熱元件及感溫元件，形成于第二介質(zhì)層的上表面；絕緣層，覆蓋加熱元件及感溫元件，且局部刻蝕出接觸孔；金屬層，形成于絕緣層上，部分金屬層通過(guò)接觸孔與加熱元件及感溫元件連接。本發(fā)明通過(guò)在第一、第二介質(zhì)層上預(yù)加壓應(yīng)力，使其在隔熱腔體釋放后發(fā)生形變，形成彎曲狀的懸浮膜，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)加強(qiáng)對(duì)流效果、提高換熱效率的目的，從而增大上下游感溫元件之間的溫差，有效提高器件的靈敏度。 |
