一種MEMS質(zhì)量流量控制器及控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110356195.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113157008A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113157008A 申請公布日 2021-07-23
分類號 G05D7/06 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 胡國慶;田偉 申請（專利權(quán)）人 青島芯笙微納電子科技有限公司
代理機構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉娜
地址 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號青島國際創(chuàng)新園B座402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS質(zhì)量流量控制器及控制方法，包括殼體以及位于殼體內(nèi)部的質(zhì)量流量傳感器和微加熱器，所述殼體包括下基板及上蓋板及由二者圍成的氣流通道；質(zhì)量流量傳感器固定在下基板上，且位于靠近氣流通道的入口一側(cè)；微加熱器通過導(dǎo)熱介質(zhì)固定在上蓋板上，且位于靠近氣流通道的出口一側(cè)。本發(fā)明所公開的MEMS質(zhì)量流量控制器利用質(zhì)量流量傳感器對氣體流量進行測量并實時反饋，作為調(diào)節(jié)微加熱器功率的依據(jù)，進而利用導(dǎo)熱介質(zhì)熱脹冷縮引起的形變實現(xiàn)對微小流量的高精度控制，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、成本低、制備可控性強的特點。