基于壓縮態(tài)光源結(jié)構(gòu)與雙透射光結(jié)構(gòu)的邁克爾遜干涉儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120536863.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214224163U 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN214224163U 申請公布日 2021-09-17
分類號 G01D5/26（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 華平壤;張繪平 申請（專利權(quán)）人 派尼爾科技（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 甄丹鳳
地址 300000天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)黃海路276號泰達(dá)中小企業(yè)園2號樓602
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及高精密度的干涉測量技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種基于壓縮態(tài)光源結(jié)構(gòu)與雙透射光結(jié)構(gòu)的邁克爾遜干涉儀，包括：壓縮態(tài)光源結(jié)構(gòu)以及雙透射光干涉結(jié)構(gòu)，所述雙透射光干涉結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述壓縮態(tài)光源結(jié)構(gòu)的輸出光路上；所述雙投射光干涉結(jié)構(gòu)包括成像裝置以及接收裝置，所述成像裝置與所述接收裝置連接，所述成像裝置用于產(chǎn)生明暗交替的光斑干涉圖樣。該裝置了進(jìn)行了信號的增強(qiáng)和噪聲的降低，提高了靈敏度降低了成本。