一種光路復用雙頻干涉儀裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120546580.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214372286U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214372286U 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01B11/14（2006.01）I;G01B11/26（2006.01）I;G01B9/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 華平壤;史月玲 申請（專利權(quán)）人 派尼爾科技（天津）有限公司
代理機構(gòu) 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 甄丹鳳
地址 300000天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)黃海路276號泰達中小企業(yè)園2號樓602
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及干涉儀技術(shù)領域，公開了一種光路復用雙頻干涉儀裝置，包括激光器，所述激光器的輸出光路上連接有檢測器，所述檢測器的輸出光路上設有耦合鏡組，所述耦合鏡組安裝于待測物上；所述檢測器包括1/4玻片，所述1/4玻片的輸出光路上設有第一分光鏡，所述第一分光鏡的輸出光路上設有第二分光鏡，所述第二分光鏡的輸出光路上連接有用于測量待測物運動長度的測長通道和測量轉(zhuǎn)動角度的測角通道。該裝置同時測量距離、角度兩個物理量，并提高測量精度和測量速度。