一種用于痕量氣體測量的激光光譜儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120581608.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214472744U 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN214472744U 申請公布日 2021-10-22
分類號 G01N21/31 分類 測量；測試;
發(fā)明人 華平壤;張繪平 申請（專利權(quán)）人 派尼爾科技（天津）有限公司
代理機構(gòu) 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賈立慶
地址 300000 天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)黃海路276號泰達中小企業(yè)園2號樓602
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于痕量氣體測量的激光光譜儀，包括氣體監(jiān)控管路，氣體監(jiān)控管路包括主監(jiān)控管線和循環(huán)單元，循環(huán)單元包括依次連接的第二單向閥、光譜儀以及減壓閥，循環(huán)單元與主監(jiān)控管線的兩端分別連接形成閉環(huán)回路，實現(xiàn)對氣體的實時監(jiān)控；光譜儀外部還設(shè)置有光譜儀溫控裝置，用于控制光譜儀所處環(huán)境的溫度。本實用新型通過循環(huán)單元與主監(jiān)控管線之間形成閉合環(huán)路，實現(xiàn)對氣體壓強以及流量的實時監(jiān)控，保證檢測環(huán)境的密閉性，避免造成環(huán)境污染；通過設(shè)置載氣穩(wěn)壓單元和干燥單元，實現(xiàn)對流經(jīng)氣體壓力和流量的控制和對流經(jīng)氣體的干燥，提高檢測精度；通過設(shè)置光譜儀溫控裝置，實現(xiàn)穩(wěn)定控制光譜儀所處環(huán)境的溫度，提高對光譜儀的檢測精度。