一種玻璃組件鍵合的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110080250.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112897899A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112897899A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C03C23/00;C03B25/00;C03C27/06 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 屈飛;張賀;韓立 申請（專利權）人 杭州中科神光科技有限公司
代理機構 北京高沃律師事務所 代理人 劉丹丹
地址 311421 浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢8層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光學組件技術領域，特別涉及一種玻璃組件鍵合的方法。本發(fā)明先將玻璃元件進行氬氣?氧氣等離子體處理，利用氬離子大的轟擊作用，在玻璃表面打開Si?O鍵、Al?O鍵和B?O鍵，同時氬氣?氧氣混合氣體中的氧可以進一步去除玻璃表面殘留的污染物和改善玻璃表面親水特性，玻璃表面形成懸掛鍵Si?O鍵、Al?O鍵和B?O鍵，有利于后續(xù)在玻璃表面引入H+基團和OH?基團，對活化的玻璃表面鈍化，同時為自發(fā)鍵合提供條件；然后進行氬氣?水蒸氣等離子體處理，氬氣輔助水蒸氣的分解，形成的H+基團和OH?基團進入懸掛鍵斷裂形成的活性位置，引入親水基團同時將表面鈍化，避免空氣中的污染物吸附表面和提高玻璃表面鍵合強度。