基于肖特基結(jié)的線偏振光探測器及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910706871.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110416348B | 公開（公告）日 | 2019-11-05 |
| 申請公布號 | CN110416348B | 申請公布日 | 2019-11-05 |
| 分類號 | H01L31/108(2006.01)I; | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙凱;魏鐘鳴;李京波;宗易昕;鄧惠雄;文宏玉 | 申請（專利權(quán)）人 | 杭州中科神光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 任巖 |
| 地址 | 100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種基于肖特基結(jié)的線偏振光探測器及其制備方法，屬于光探測器的制備技術(shù)領(lǐng)域。所述基于肖特基結(jié)的線偏振光探測器，包括：漏電極、源電極、二氧化硅襯底以及有源層；所述漏電極、有源層以及源電極從左至右依次位于所述二氧化硅襯底上方；所述有源層的材料為N型半導(dǎo)體納米線；所述漏電極和源電極的材料均為金屬材料。本發(fā)明提供的基于肖特基結(jié)的線偏振光探測器，通過使用半導(dǎo)體納米線作為有源層，而源、漏電極均為金屬材料，使半導(dǎo)體和金屬的交界面為肖特基結(jié)，肖特基結(jié)可以使有源層本身只能吸收可見光延伸至紅外光。?? |
