雙通道雙波長干涉檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610551583.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106197258B 公開（公告）日 2019-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN106197258B 申請(qǐng)公布日 2019-06-18
分類號(hào) G01B9/02（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉世杰; 周游; 白云波; 魯棋; 張志剛; 王微微; 徐天柱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州中科神光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所;杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所
地址 201800 上海市嘉定區(qū)上海市800－211郵政信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙通道雙波長干涉檢測(cè)裝置，該裝置包括第一激光光源干涉儀主機(jī)、第二激光光源干涉儀主機(jī)、轉(zhuǎn)折反射鏡、滑動(dòng)導(dǎo)軌、擴(kuò)束次鏡、準(zhǔn)直主鏡和標(biāo)準(zhǔn)透射鏡。其中第一激光光源干涉儀主機(jī)和第二激光光源干涉儀主機(jī)到轉(zhuǎn)折反射鏡之間的空間光束為第一小口徑測(cè)量通道，標(biāo)準(zhǔn)透射鏡后的光束為第二大口徑測(cè)量通道。第一激光光源干涉儀主機(jī)和第二激光光源干涉儀主機(jī)分別可以輸出兩種不同的激光波長。測(cè)量時(shí)將待測(cè)反射鏡置于光路中，本發(fā)明裝置可以同時(shí)提供兩種測(cè)量通道和測(cè)量波長，適合不同口徑和對(duì)測(cè)量波長有特殊要求的光學(xué)元件波前畸變的測(cè)量。