雙通道雙波長干涉檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610551583.6 申請日 -
公開（公告）號 CN106197258A 公開（公告）日 2016-12-07
申請公布號 CN106197258A 申請公布日 2016-12-07
分類號 G01B9/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉世杰;周游;白云波;魯棋;張志剛;王微微;徐天柱 申請（專利權(quán)）人 杭州中科神光科技有限公司
代理機構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 中國科學院上海光學精密機械研究所;杭州光學精密機械研究所
地址 201800 上海市嘉定區(qū)上海市800－211郵政信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙通道雙波長干涉檢測裝置，該裝置包括第一激光光源干涉儀主機、第二激光光源干涉儀主機、轉(zhuǎn)折反射鏡、滑動導軌、擴束次鏡、準直主鏡和標準透射鏡。其中第一激光光源干涉儀主機和第二激光光源干涉儀主機到轉(zhuǎn)折反射鏡之間的空間光束為第一小口徑測量通道，標準透射鏡后的光束為第二大口徑測量通道。第一激光光源干涉儀主機和第二激光光源干涉儀主機分別可以輸出兩種不同的激光波長。測量時將待測反射鏡置于光路中，本發(fā)明裝置可以同時提供兩種測量通道和測量波長，適合不同口徑和對測量波長有特殊要求的光學元件波前畸變的測量。