一種激光光束平頂光整形裝置及其工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110876392.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113467096A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113467096A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G02B27/09（2006.01）I;G02B27/10（2006.01）I;G02B27/00（2006.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/064（2014.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 趙曉杰;鄒達;黎凱 申請（專利權）人 英諾激光科技股份有限公司
代理機構 深圳市精英專利事務所 代理人 李燕娥
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)科技園北區(qū)朗山二路8號清溢光電大樓305（辦公場所）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種激光光束平頂光整形裝置及其工作方法，該裝置包括：激光器、分束系統(tǒng)、干涉控制系統(tǒng)、合束系統(tǒng)以及光學元件，激光器與分束系統(tǒng)連接，分束系統(tǒng)與干涉控制系統(tǒng)連接，干涉控制系統(tǒng)與合束系統(tǒng)連接，合束系統(tǒng)與光學元件連接。本發(fā)明實施例通過設置激光器、分束系統(tǒng)、干涉控制系統(tǒng)、合束系統(tǒng)以及光學元件，激光器發(fā)出的光束，經過分束系統(tǒng)處理后得到多路光源，再由干涉控制系統(tǒng)進行處理以防止光斑合成后發(fā)生干涉的問題，通過合束系統(tǒng)將各路光源重新合束，再通過光學元件聚焦在焦平面上，入射光源為高斯光束，對入射光波前不敏感，整個裝置采用的器件成本低，能獲得接近入射光束衍射極限大小，穩(wěn)定性高。