雙光束激光旋轉(zhuǎn)制備錐度可控微孔的裝置及加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110466702.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113020821A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113020821A 申請公布日 2021-06-25
分類號 B23K26/382;B23K26/064 分類 機床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 張杰;陶沙;秦國雙 申請（專利權(quán)）人 英諾激光科技股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳市精英專利事務(wù)所 代理人 李燕娥
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)科技園北區(qū)朗山二路8號清溢光電大樓305（辦公場所）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了雙光束激光旋轉(zhuǎn)制備錐度可控微孔的裝置及加工方法，該裝置包括光束處理組件、分束組件以及透鏡，光束處理組件與分束組件連接，分束組件以及光束處理組件分別設(shè)于透鏡的上方，光束處理組件設(shè)于分束組件的上方。本發(fā)明實施例通過設(shè)置光束處理組件、分束組件以及透鏡，由激光器發(fā)射的激光光源垂直入射至光束處理組件，經(jīng)由光束處理組件處理后，由分束組件進行分束形成雙光束后，經(jīng)過透鏡聚焦后在樣品的表面上進行孔的加工，采用常規(guī)通用的光學(xué)元件，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡單，成本低，通用性強，實用方便的錐度可控的鉆孔。