預(yù)調(diào)整設(shè)備、預(yù)調(diào)整方法及曝光設(shè)備組裝方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010502706.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111399166A | 公開（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111399166A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-10 |
| 分類號(hào) | G02B7/09(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 蔡志國;江俊龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州微影激光技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州微影激光技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 215011江蘇省蘇州市高新區(qū)火炬路85號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種預(yù)調(diào)整設(shè)備、預(yù)調(diào)整方法及曝光設(shè)備組裝方法，鏡頭模組用于曝光設(shè)備，鏡頭模組包括鏡頭安裝底板及多個(gè)鏡頭，多個(gè)鏡頭可拆卸地安裝于鏡頭安裝底板上，曝光設(shè)備包括底座、平行設(shè)置于底座上的兩個(gè)支架、連接兩個(gè)支架的橫梁以及鏡頭模組，鏡頭模組安裝于橫梁上。本發(fā)明提出了一種可獨(dú)立預(yù)調(diào)整的鏡頭模組，后續(xù)再將預(yù)調(diào)整之后的鏡頭模組組裝至曝光設(shè)備中，可大大降低整機(jī)裝配校驗(yàn)時(shí)間，且便于鏡頭的調(diào)整操作。?? |
