預(yù)調(diào)整設(shè)備、預(yù)調(diào)整方法及曝光設(shè)備組裝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010502706.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111399166B 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN111399166B 申請公布日 2020-07-10
分類號 G02B7/09(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 蔡志國;江俊龍 申請（專利權(quán)）人 蘇州微影激光技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州微影激光技術(shù)有限公司
地址 215011江蘇省蘇州市高新區(qū)火炬路85號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種預(yù)調(diào)整設(shè)備、預(yù)調(diào)整方法及曝光設(shè)備組裝方法，鏡頭模組用于曝光設(shè)備，鏡頭模組包括鏡頭安裝底板及多個鏡頭，多個鏡頭可拆卸地安裝于鏡頭安裝底板上，曝光設(shè)備包括底座、平行設(shè)置于底座上的兩個支架、連接兩個支架的橫梁以及鏡頭模組，鏡頭模組安裝于橫梁上。本發(fā)明提出了一種可獨立預(yù)調(diào)整的鏡頭模組，后續(xù)再將預(yù)調(diào)整之后的鏡頭模組組裝至曝光設(shè)備中，可大大降低整機裝配校驗時間，且便于鏡頭的調(diào)整操作。??