激光合束裝置及具有其的曝光鏡頭、直寫式曝光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022978408.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213545034U 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN213545034U 申請公布日 2021-06-25
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 龔田;雎鵬;馬云云 申請（專利權）人 蘇州微影激光技術有限公司
代理機構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 沈曉敏
地址 215011江蘇省蘇州市高新區(qū)火炬路85號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種激光合束裝置及具有其的曝光鏡頭、直寫式曝光裝置，激光合束裝置包括固定單元、合束單元、脈沖激光器及光纖激光器，固定單元包括第一、第二輸入接口及第一、第二輸出端；合束單元位于輸出端的出光路徑上；脈沖激光器配接至第一輸入接口并輸出第一光束；光纖激光器配接至第二輸入接口并輸出第二光束；合束單元包括光學鏡片及光積分器，光學鏡片的第一光軸、第一光束的第一中心軸及第二光束的第二中心軸相互平行，第一、第二光束直接依次經(jīng)過光學鏡片及光積分器，且光積分器進行合束處理。本實用新型的激光合束裝置可省略濾光片的使用，降低了制作難度，提高了效率，且避免了脈沖激光器使用光纖傳輸，可大大降低合束損耗。