掃描式激光直接成像的同步方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910179959.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111694220A | 公開（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申請公布號 | CN111694220A | 申請公布日 | 2020-09-22 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 蔡志國;謝榮先 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州微影激光技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市合道英聯(lián)專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州微影激光技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 215009江蘇省蘇州市高新區(qū)火炬路85號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種掃描式激光直接成像的同步方法，確定掃描運(yùn)動機(jī)構(gòu)的位置誤差數(shù)據(jù)和成像機(jī)構(gòu)的倍率誤差數(shù)據(jù)，在啟動曝光后，以掃描運(yùn)動機(jī)構(gòu)的每個步進(jìn)為一個補(bǔ)償周期，在該步驟周期內(nèi)根據(jù)所述掃描運(yùn)動機(jī)構(gòu)所處位置對應(yīng)的位置誤差數(shù)據(jù)和成像機(jī)構(gòu)的倍率誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行位置補(bǔ)償計算獲得誤差值，根據(jù)累計誤差值與輸出脈沖范圍的大小關(guān)系確定成像機(jī)構(gòu)的成像時刻。本發(fā)明將多種影響因素添加至計算模塊中，且每個曝光條帶對應(yīng)的誤差數(shù)據(jù)即為真實(shí)的誤差數(shù)據(jù)，運(yùn)算更合理，結(jié)果更準(zhǔn)確；能夠?qū)⒚總€曝光條帶整體誤差控制在一個運(yùn)動機(jī)構(gòu)輸出脈沖范圍內(nèi)。?? |
