一種晶圓生產(chǎn)用清潔裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022923088.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214289613U 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214289613U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 吳繼勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇宿芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 223800江蘇省宿遷市宿城區(qū)宿城經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西區(qū)古城路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓生產(chǎn)用清潔裝置，涉及電子元件加工技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括容納箱、輸送帶、頂蓋和清潔機(jī)構(gòu)，容納箱內(nèi)部的四角對(duì)稱固定有支柱，支柱頂部的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滾軸，兩根滾軸之間包覆連接有輸送帶，通過滾軸的旋轉(zhuǎn)使輸送帶運(yùn)轉(zhuǎn)輸送，輸送帶上設(shè)置有清潔機(jī)構(gòu)，清潔機(jī)構(gòu)用于對(duì)晶圓的固定，以保證不會(huì)互相碰撞，容納箱的上端固定有頂蓋，頂蓋覆蓋于輸送帶上方，頂蓋用于固定管道類的輸水結(jié)構(gòu)，同時(shí)防止水流四射。本實(shí)用新型通過清潔機(jī)構(gòu)、頂蓋、容納箱，解決了晶圓清潔時(shí)缺少相應(yīng)的輔助固定結(jié)構(gòu)和晶圓清潔不徹底，水資源耗費(fèi)大的問題。